Способ изготовления выпрямительных элементов
Патент 1082233
Авторы
- Колоскова Л.Н.
- Корольков О.М.
- Круус Е.А.
- Кузьмин В.Л.
- Локтаев Ю.М.
- Марквичева В.С.
- Нисневич Я.Д.
- Сурженков Г.Н.
- Фихтенгольц Е.А.
- Хуторянский Е.Д.
Классы МПК
Способ изготовления выпрямительных элементов
Реферат
Способ изготовления выпрямительных элементов силовых полупроводниковых приборов, включающий операции шлифовки и химической очистки пластин кремния, изготовления высоковольтных p-n-переходов и создания омических контактов методом диффузионной сварки, отличающийся тем, что, с целью увеличения процента выхода годных приборов, после изготовления высоковольтных p-n-переходов с обеих сторон пластины кремния удаляют нарушенный слой толщиной 5 - 20 мкм.