Состав для получения защитного покрытия поверхности кремния
Патент 1115631
Авторы
Классы МПК
Состав для получения защитного покрытия поверхности кремния
Реферат
Состав для получения защитного покрытия поверхности кремния от диффузии примесей, содержащий тетраэтоксисилан, воду и концентрированную соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества защиты от диффузии примесей III и V групп и защиты от диффузии щелочных металлов, он содержит пересыщенный водный раствор азотнокислого циркония при следующем соотношении компонентов, мас.%: Азотнокислый цирконий - 21-23 Тетраэтоксисилан - 57-59 Соляная кислота концентрированная - 1,2-1,4 Вода - Остальное