Способ обработки диэлектрических низкотемпературных пленок двуокиси кремния
Патент 1227048
Авторы
Классы МПК
Способ обработки диэлектрических низкотемпературных пленок двуокиси кремния
Реферат
Способ обработки диэлектрических низкотемпературных пленок двуокиси кремния, полученных осаждением из газовой фазы, включающий отжиг при температуре роста пленки, не допуская контакта пленок с парами воды от начала отжига, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа при одновременном повышении качества, пленки облучают ионами дозой 5 - 1014 - 1016 cv-2 на глубину от 100 до h/2, где h - толщина пленки, не допуская контакта пленок с парами воды до конца ионного облучения.