Состав для получения защитного покрытия поверхности кремния

Состав для получения защитного покрытия поверхности кремния

Реферат

Состав для получения защитного покрытия поверхности кремния от диффузии примесей III и V групп и щелочных металлов, содержащий тетраэтоксисилан, воду, концентрированную соляную кислоту и пересыщенный водный раствор азотнокислого циркония, отличающийся тем, что, с целью сохранения стабильности свойств, он дополнительно содержит соль металла из группы лантанидов при следующем соотношении компонентов (мас.%): Тетраэтоксисилан (Si(OC₂H₅)₄) - 57-59 Пересыщенный водный раствор азотнокислого циркония (Zr(NO₃)₄) - 21-23 Концентрированная соляная кислота (HCl) - 1,2-1,4 Соль металла из группы лантанидов - 3-5 Вода - Остальное