Способ получения высокоомного кремния
Патент 1331140
Авторы
- Вербицкая Е.М.
- Гринштейн П.М.
- Гучетль Р.
- Еремин В.К.
- Соболев Н.А.
- Строкан Н.Б.
- Шек Е.И.
- Шлимак И.С.
- Шокина Е.В.
Классы МПК
Способ получения высокоомного кремния
Реферат
Способ получения высокоомного кремния, включающий облучение нейтронами слитка кремния р-типа проводимости и отжиг радиационных дефектов, отличающийся тем, что, с целью получения кремния с удельным сопротивлением, превышающим 50 кОм·см, контрольную часть исходного слитка кремния отжигают при температуре, соответствующей температуре отжига радиационных дефектов, и измеряют в ней изменение концентрации электрически активных центров N, причем для облучения используют слитки с величинами концентрации акцепторной примеси на торцах и удовлетворяющих условию облучение ведут в однородном нейтронном потоке с интегральной дозой по тепловым нейтронам отжиг радиационных дефектов ведут в хлорсодержащей атмосфере, а высокоомный участок кремния выбирают в области р-n конверсии слитка.