Способ геттерирования металлических примесей в пластине кремния

Способ геттерирования металлических примесей в пластине кремния

Реферат

Способ геттерирования металлических примесей в пластине кремния, включающий обработку нагретой пластины в электрическом разряде в газовой атмосфере, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей процесса геттерирования путем снижения температуры геттерирования, обработку пластины проводят в разряде высокой частоты, в атмосфере смеси кислорода с фторсодержащим соединением при их объемном отношении (0,1-1) : 1 соответственно величине удельной мощности на единицу поверхности 0,4-1,3 Вт/см² и рабочем давлении 610^-3 - 610^-1 мм рт.ст., при этом температура пластины лежит в диапазоне 120-150^oC.