Способ обработки поверхности кремния
Патент 1507126
Авторы
- Аверьянова Т.М.
- Верин В.М.
- Генералов Н.А.
- Гласко В.Б.
- Губарь А.Ю.
- Зимаков В.П.
- Козлов П.В.
- Коршунов А.Б.
- Павлов В.А.
- Петровнин Н.М.
- Прохоров В.И.
- Соловьев Н.Г.
- Старикова Л.Е.
- Тимашева Т.П.
- Шестериков С.А.
- Щербина С.М.
Классы МПК
Способ обработки поверхности кремния
Реферат
Способ обработки поверхности кремния, включающий имплантацию ионов бора и последующее облучение импульсами света, отличающийся тем, что, с целью повышения термостойкости имплантированного слоя, облучение ведут с длительностью импульсов не более десятков секунд при плотности мощности не менее 10 Вт/см2.