Зубчатая передача, выполненная из материала, допускающего возможность микрообработки, и способ ее изготовления
Настоящее изобретение относится к области микромеханических элементов, используемых, к примеру, в часах. Предлагается способ, включающий в себя последовательные этапы изготовления зубчатой передачи из материалов, допускающих возможность микрообработки, предпочтительно - на основе кремния. Зубчатая передача (51, 51') представляет собой вал (53, 53'), первый конец которого выполнен за одно целое с...