Устройство интерференционного измерения проекции вектора перемещения поверхности диффузно-отражающего обьекта
OAИСАееКЕ ЙЗОЬРЕТЕН ИЯ (61) Дополнительное и авт. ев»»д-ву (22) Заявлено ОЗ.03.75(21) 2109644/25 е присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано05.07.76,6»оллетень ph 25 РЦ М,.Кл. & 01 В 9/021 Гвсудврствввввй вемитет Совета е»ивветрвв СССР ве делам веееретеиий и вткрмтий (5З) УД 772.eg (088.8) (4О) Д в/ g, опдблцковвни я опии;,,н1»я т 5 (72) Авторы изобретения Н....