Мозаичная мишень для ионно-плазменного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ ее изготовления
Изобретение относится к области технологии получения тонких пленок и может быть использовано при нанесении многокомпонентных пленочных покрытий для электронной, атомной и других областей науки и техники. Мозаичная мишень состоит из стальной матрицы с охлаждаемым основанием, в углублениях которой размещены элементы для распыления. В качестве элементов матрицы использованы порошки с гранулометрическ...