Способ контроля размера элементов топологической структуры и устройство для его осуществления
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике контроля и может быть использовано при литографической обработке изделий для контроля топологических структур на фотошаблонах и пластинах в процессе их формирования. Целью изобретения является расширение диапазона измерений за счет обеспечения возможности контроля размеров, сравнимых с длиной волны излучения. Для этого освещ...